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螺旋式干式真空泵的特点有哪些?

天华科技 次浏览 2017-22-08

介绍的所有类型的干式真空泵,我们都巴望能够将其物理尺度减小。但这与真空泵的抽气速率相对立,因为真空泵的抽气速率与真空泵的容积成正比,物理尺度小意味着容积也小。当然,还有一个影响真空泵的抽气速率的重要因素,那就是转速。为了让小尺度的真空泵的抽气速率与大尺度真空泵的抽气速率相匹配,就需要提高它的转速。而想要改动真空泵的转速有两种办法,一是改动电源的频率,即选用变频器;二是改动齿轮箱的传动比。其间,选用变频器的优点是能够提供一个闭环操控,但在大负载下简单引起扭距的丢失。而改动齿轮箱的传动比是一种十分经济的办法,当然,它只能提供不可控的单一转速。

能够看到,干式真空泵有着如此多的不同规划,它们各自有着自己的特性和优缺点。一直以来,运用本钱是影响人们挑选真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到也应该将真空泵运转的稳定性考虑进去。因为真空泵的意外犯错会引起机器的运用功率下降,影响到晶圆的出产和交货期,乃至造成所加工晶圆的作废和机器其他部件的损坏。
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